Тема: Плазменная очистка кремниевых подложек. Плазменная нано-очистка, сверхтонкая очистка подложек. Сверхтонкая очистка нано-структур. Очистка подложек.

Плазменная нано-очистка кремниевых подложек

Первым компонентов при производстве подложек является блок из полупроводникового материала. Его обрезают, а затем полируют химическим/механическим способом до достижения требуемой шероховатости поверхности в несколько нанометров.
Nanoreinigung eines WaferПодложка после полировки и обработки плазмой

На следующем этапе применяется плазма Openair® как крайне эффективный и простой метод сверхтонкой очистки этих нано-структур. Все углеводороды и частицы удаляются без остатка. Благодаря плазменной очистке Openair® можно существенно сократить процент брака.

к главной теме Подложки - кристаллы

Plasmatreat GmbH
Bisamweg 10
D-33803 Steinhagen
Germany

тел. +49 5204 9960-0
факс +49 5204 9960-33

mail@plasmatreat.de

Plasmatreat Open House
Grand opening of Plasmatreat's new subsidiary and customer application center

30. – 31. марта 2017
Hayward, CA, United States

INDUSTRIE LYON
The Tradeshow for Production Technologies

4. – 7. апреля 2017
stand W67 hall 6
EUROEXPO LYON
Lyon, France

Language