Тема: Плазменная очистка кремниевых подложек. Плазменная нано-очистка, сверхтонкая очистка подложек. Сверхтонкая очистка нано-структур. Очистка подложек.

Плазменная нано-очистка кремниевых подложек

Первым компонентов при производстве подложек является блок из полупроводникового материала. Его обрезают, а затем полируют химическим/механическим способом до достижения требуемой шероховатости поверхности в несколько нанометров.
Nanoreinigung eines WaferПодложка после полировки и обработки плазмой

На следующем этапе применяется плазма Openair® как крайне эффективный и простой метод сверхтонкой очистки этих нано-структур. Все углеводороды и частицы удаляются без остатка. Благодаря плазменной очистке Openair® можно существенно сократить процент брака.

к главной теме Подложки - кристаллы

Plasmatreat GmbH
Bisamweg 10
D-33803 Steinhagen
Germany

тел. +49 5204 9960-0
факс +49 5204 9960-33

mail@plasmatreat.de

Glasspack 2017
Design • Products • Solutions 1st Business Meeting on Design and Production Management of Glass Bottle and Containers

8. июня 2017
Pordenone Exhibition Center
Pordenone, Italy

FIP Solution Plastique
The Plastics Industry Exhibition in France

13. – 16. июня 2017
LYON EUROEXPO
Lyon, France

Language