Тема: Плазменная очистка кремниевых подложек. Плазменная нано-очистка, сверхтонкая очистка подложек. Сверхтонкая очистка нано-структур. Очистка подложек.

Плазменная нано-очистка кремниевых подложек

Первым компонентов при производстве подложек является блок из полупроводникового материала. Его обрезают, а затем полируют химическим/механическим способом до достижения требуемой шероховатости поверхности в несколько нанометров.
Nanoreinigung eines WaferПодложка после полировки и обработки плазмой

На следующем этапе применяется плазма Openair® как крайне эффективный и простой метод сверхтонкой очистки этих нано-структур. Все углеводороды и частицы удаляются без остатка. Благодаря плазменной очистке Openair® можно существенно сократить процент брака.

к главной теме Подложки - кристаллы

Plasmatreat GmbH
Bisamweg 10
D-33803 Steinhagen
Germany

тел. +49 5204 9960-0
факс +49 5204 9960-33

mail@plasmatreat.de

Micronora 2016
International microtechnology and precision trade fair

27. – 30. сентября 2016
Micropolis / Parc des Expositions
Besancon Cedex, France

Material World Osaka 2016
Highly-functional Material World, Osaka 2016

5. – 7. октября 2016
Hall 6, Booth A-S-488
Intex Osaka, Japan

Language